主要功能

物质表面形貌观察分析，表面元素成分分析。样品材料显微形貌观察，微区化学成分分析，镀层表面形貌观察，微米级镀层厚度测量。在观察形貌的同时，进行微区的成分分析。可定性、半定量检测大部分元素（B5- Am95），可进行表面污染物的分析，焊点、镀层界面组织成分分析。

主要配件

规格参数

生产厂家：荷兰飞纳
型号：Phenom XL
年份：2020

技术指标

1.内置集成可调焦彩色光学显微镜（非CCD相机或摄像头）。电子放大100,000倍
2.仪器分辨率：二次电子探测器分辨率≤9nm@10KV
3.加速电压.5-15kV连续可调，高级模式加速电压4.8-20kV连续可调。
4.高级模式束斑直径0-5.5大小连续可调。
5.灯丝材料：CeB6。
6.电子舱真空封锁，每次换样抽真空时间＜35s。
7.样品实时观测分辨率图像像素可选456、684、912、1024模式；
8.全自动马达样品台控制；可容纳36个直径12mm的样品。
9.真空系统：配置涡轮分子泵和无油隔膜干泵
10.观察模式：全面模式、形貌模式和二次电子模式。
11.配置四分割背散射电子探测器和高真空二次电子探测器
12. 完全内置型EDS 探测器；
13.元素探测范围：B（5）～ Am（95）
14.能量分辨率： ≤135eV（Mn Ka）